Microsensors
Esquema
Jerarquía
mobiliario y equipamiento > artefactos de medición > instrumentos de medición > <artefactos de medición para extensión> > sensors
Descripción
Any miniaturized probe with physical dimensions in the submicrometer to millimeter range. Microsensors are manufactured using microelectromechanical systems (MEMS) technology.
URI original del concepto
Otros términos
- microsensor [en]
- micro-sensor [en]